第二百二十四章 无人自动公交车的强大理解

光刻机订单后，就提前半年通知凤凰集团为光刻机厂房做相应准备。

    整个停放光刻机的厂房被特意加固了所有地基，甚至特别的地方还做了悬空处理，这样的目的就是因为光刻机对震动非常敏感，轻微的震动都会引发光源错误，导致一批次的晶圆全部报废。

    不仅是地基的稳定性，光刻机生产的厂房所有灯光都有指定要求，不能使用我们平常使用的白光，而是需要使用波长较长的黄色光源。

    因为光刻胶对短光非常敏感，所以用长波长的黄色光源的话，对于晶圆制造来说就如同关灯作业，原理就如同冲胶卷曝光一样。

    除去这些，光刻机生产厂房还对空气质量有特别高的要求，空气质量需要达到ISO1级或者2级的水准，这样的空气质量比医用手术室的空气环境要求要干净一万倍……

    要达到这样的要求，就必须大量使用先进的全自动化机械cao作和高效的风机过滤机组进行24小时无间断的换气和过滤。

    除去这些苛刻要求，更让胡来感叹的，还有光刻机高达三万多个零部件和制造光源所需要的强大电力消耗……

    不过。

    好在沪市微电子厂虽然只是光刻机厂商，但对于光刻机的整套配套还是准备充足。

    虽然诸如工厂的风机过滤机组（FFU）和过滤滤芯暂时无法国产，诸如国产光刻胶效果不尽人意等等，但在微电子的私下帮助下，凤凰28纳米光刻机的组装和相关配套还是有条不紊的完成了。

    用沪市微电子负责项目的经